合金組成比を任意に制御出来る低温・高速スパツタ装置の開発研究

• Material Type: 図書
• Title: 合金組成比を任意に制御出来る低温・高速スパツタ装置の開発研究
• Title Transcription: ゴウキン ソセイヒ オ ニンイ ニ セイ オデキルテイオン ・ コウソク スパツタ ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
• Author/Editor: 畑, 朋延, 金沢大学
• Author Heading: 畑, 朋延 ハタ, トモノブ
• Publication Date: 1986-1988
• Publication Date (W3CDTF): 1986
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 奨励研究(B)
• Subject Heading: 薄膜 ハクマク; マグネトロンスパツタ マグネトロンスパツタ; シリサイド シリサイド; 傾斜機能材料 ケイシヤキノウザイリヨウ; プラズマ制御 プラズマセイギヨ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 61850050
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S61850050
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007029344; http://id.ndl.go.jp/bib/000007029344
• Bibliographic Record Category (NDL): 214