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レーザープラズマX線露光装置の開発

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レーザープラズマX線露光装置の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-S61850071
国立国会図書館書誌ID
000007029363
資料種別
図書
著者
中井, 貞雄, 大阪大学
出版者
-
出版年
1986-1987
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
レーザープラズマ Xセン ロコウ ソウチ ノ カイハツ
著者・編者
中井, 貞雄, 大阪大学
著者標目
著者 : 中井, 貞雄, 1938- ナカイ, サダオ, 1938- ( 00729497 )典拠
出版年月日等
1986-1987
出版年(W3CDTF)
1986
数量
件名標目
レーザープラズマ レーザープラズマ
高出力レーザー コウシユツリヨクレーザー
レーザー光の波長変換 レーザーコウノハチヨウヘンカン
非線型光学結晶 ヒセンケイコウガクケツシヨウ
高輝度点X線源 コウキドテンXセンゲン
X線リソグラフイー Xセンリソグラフイー
サブミクロン加工 サブミクロンカコウ
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