レーザープラズマX線露光装置の開発

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Material Type: 図書
Title: レーザープラズマX線露光装置の開発
Title Transcription: レーザープラズマ Xセンロコウソウチノカイハツ
Author/Editor: 中井, 貞雄, 大阪大学
Author Heading: 著者：中井, 貞雄, 1938- ナカイ, サダオ, 1938- ( 00729497 )Authorities
Publication Date: 1986-1987
Publication Date (W3CDTF): 1986
Extent: 冊
Subject Heading: レーザープラズマレーザープラズマ
高出力レーザーコウシユツリヨクレーザー
レーザー光の波長変換レーザーコウノハチヨウヘンカン
非線型光学結晶ヒセンケイコウガクケツシヨウ
高輝度点X線源コウキドテンXセンゲン
X線リソグラフイー Xセンリソグラフイー
サブミクロン加工サブミクロンカコウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 61850071
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S61850071
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007029363
http://id.ndl.go.jp/bib/000007029363
Bibliographic Record Category (NDL): 214