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超高速LSI対応配線構造の研究

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超高速LSI対応配線構造の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-S62420031
国立国会図書館書誌ID
000007029959
資料種別
図書
著者
大見, 忠弘, 東北大学
出版者
-
出版年
1987-1988
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウコウソク LSI タイオウ ハイセン コウゾウ ノ ケンキュウ
著者・編者
大見, 忠弘, 東北大学
著者標目
大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
出版年月日等
1987-1988
出版年(W3CDTF)
1987
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(A)
件名標目
超高速LSI チヨウコウソクLSI
LSI用配線技術 LSIヨウハイセンギジユツ
アルミニウム配線 アルミニウムハイセン
銅配線 ドウハイセン
スパツタリング スパツタリング
低エネルギイオン照射 テイエネルギイオンシヨウシヤ
エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ