超高速LSI対応配線構造の研究

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Material Type: 図書
Title: 超高速LSI対応配線構造の研究
Title Transcription: チョウコウソク LSI タイオウハイセンコウゾウノケンキュウ
Author/Editor: 大見, 忠弘, 東北大学
Author Heading: 大見, 忠弘オオミ, タダヒロ
Publication Date: 1987-1988
Publication Date (W3CDTF): 1987
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(A)
Subject Heading: 超高速LSI チヨウコウソクLSI
LSI用配線技術 LSIヨウハイセンギジユツ
アルミニウム配線アルミニウムハイセン
銅配線ドウハイセン
スパツタリングスパツタリング
低エネルギイオン照射テイエネルギイオンシヨウシヤ
エピタキシヤル成長エピタキシヤルセイチヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62420031
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62420031
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007029959
http://id.ndl.go.jp/bib/000007029959
Bibliographic Record Category (NDL): 214