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図書
ビーム照射とECRプラズマとの併用法による良質ダイヤモンドの成膜
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ビーム照射とECRプラズマとの併用法による良質ダイヤモンドの成膜
国立国会図書館請求記号
Y151-S62460059
国立国会図書館書誌ID
000007030219
資料種別
図書
著者
平木, 昭夫, 大阪大学
出版者
-
出版年
1988-1989
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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書誌情報
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紙
資料種別
図書
タイトル
ビーム照射とECRプラズマとの併用法による良質ダイヤモンドの成膜
タイトルよみ
ビーム ショウシャ ト ECR プラズマ ト ノ ヘイヨウホウ ニ ヨル リョウシツ ダイヤモンド ノ セイマク
著者・編者
平木, 昭夫, 大阪大学
著者標目
平木, 昭夫
ヒラキ, アキオ
出版年月日等
1988-1989
出版年(W3CDTF)
1988
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
ECRプラズマ
ECRプラズマ
ダイヤモンド薄膜
ダイヤモンドハクマク
低速中性粒子
テイソクチユウセイリユウシ
半導体
ハンドウタイ
エレクトロルミネツセンス
エレクトロルミネツセンス
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
62460059
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-S62460059
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007030219
http://id.ndl.go.jp/bib/000007030219
整理区分コード
214
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