ビーム照射とECRプラズマとの併用法による良質ダイヤモンドの成膜

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Material Type: 図書
Title: ビーム照射とECRプラズマとの併用法による良質ダイヤモンドの成膜
Title Transcription: ビームショウシャト ECR プラズマトノヘイヨウホウニヨルリョウシツダイヤモンドノセイマク
Author/Editor: 平木, 昭夫, 大阪大学
Author Heading: 平木, 昭夫ヒラキ, アキオ
Publication Date: 1988-1989
Publication Date (W3CDTF): 1988
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: ECRプラズマ ECRプラズマ
ダイヤモンド薄膜ダイヤモンドハクマク
低速中性粒子テイソクチユウセイリユウシ
半導体ハンドウタイ
エレクトロルミネツセンスエレクトロルミネツセンス
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62460059
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62460059
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007030219
http://id.ndl.go.jp/bib/000007030219
Bibliographic Record Category (NDL): 214