クリーンルーム用ロボツトの機構と制御

• 資料種別: 図書
• タイトル: クリーンルーム用ロボツトの機構と制御
• タイトルよみ: クリーンルームヨウ ロボツト ノ キコウ ト セイギョ
• 著者・編者: 樋口, 俊郎, 東京大学
• 著者標目: 樋口, 俊郎 ヒグチ, トシロウ
• 出版年月日等: 1987-1989
• 出版年（W3CDTF）: 1987
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: ロボツト ロボツト; 磁気軸受 ジキジクウケ; クリーンルーム クリーンルーム; 真空 シンクウ; 非接触関節 ヒセツシヨクカンセツ; 精密位置決め セイミツイチギメ; 力制御 リヨクセイギヨ; 振動防止 シンドウボウシ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 62460104
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S62460104
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007030260; http://id.ndl.go.jp/bib/000007030260
• 整理区分コード: 214