クリーンルーム用ロボツトの機構と制御

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Material Type: 図書
Title: クリーンルーム用ロボツトの機構と制御
Title Transcription: クリーンルームヨウロボツトノキコウトセイギョ
Author/Editor: 樋口, 俊郎, 東京大学
Author Heading: 樋口, 俊郎ヒグチ, トシロウ
Publication Date: 1987-1989
Publication Date (W3CDTF): 1987
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: ロボツトロボツト
磁気軸受ジキジクウケ
クリーンルームクリーンルーム
真空シンクウ
非接触関節ヒセツシヨクカンセツ
精密位置決めセイミツイチギメ
力制御リヨクセイギヨ
振動防止シンドウボウシ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62460104
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62460104
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007030260
http://id.ndl.go.jp/bib/000007030260
Bibliographic Record Category (NDL): 214