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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ジンコウ ゴウシ タイセキシキ スパツタホウ ニ ヨル キョウジセイ ホイスラ ゴウキンマク ノ ジキ コウガク トクセイ コウジョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 直江, 正彦, 東京工業大学
- 著者標目
- 直江, 正彦 ナオエ, マサヒコ
- 出版年月日等
- 1987-1988
- 出版年（W3CDTF）
- 1987
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- 光磁気記録媒体 ヒカリジキキロクバイタイ巨大力 回転能材料 キヨダイリキカイテンノウザイリヨウ強磁性ホイスラ合金 キヨウジセイホイスラゴウキン人工格子型多層膜 ジンコウコウシガタタソウマク交互堆積スパツタ法 コウゴタイセキスパツタホウプラズマフリー膜形成 プラズマフリーマクケイセイ対向ターゲツト式スパツタ装置 タイコウターゲツトシキスパツタソウチ