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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ジンコウ ゴウシ タイセキシキ スパツタホウ ニ ヨル キョウジセイ ホイスラ ゴウキンマク ノ ジキ コウガク トクセイ コウジョウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 直江, 正彦, 東京工業大学
- Author Heading
- 直江, 正彦 ナオエ, マサヒコ
- Publication Date
- 1987-1988
- Publication Date (W3CDTF)
- 1987
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- 光磁気記録媒体 ヒカリジキキロクバイタイ巨大力 回転能材料 キヨダイリキカイテンノウザイリヨウ強磁性ホイスラ合金 キヨウジセイホイスラゴウキン人工格子型多層膜 ジンコウコウシガタタソウマク交互堆積スパツタ法 コウゴタイセキスパツタホウプラズマフリー膜形成 プラズマフリーマクケイセイ対向ターゲツト式スパツタ装置 タイコウターゲツトシキスパツタソウチ