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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シン(ネツ デンシ ホウシャ)カタ プラズマ CVD ソウチ ニ ヨル リッポウショウ チッカ ホウソマク ノ ケイセイ
- 著者・編者
- 一ノ瀬, 幸雄, 長岡技術科学大学
- 著者標目
- 一ノ瀬, 幸雄 イチノセ, ユキオ
- 出版年月日等
- 1987-1988
- 出版年（W3CDTF）
- 1987
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
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