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図書

新(熱電子放射)型プラズマCVD装置による立方晶窒化ほう素膜の形成

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新(熱電子放射)型プラズマCVD装置による立方晶窒化ほう素膜の形成

Call No. (NDL)
Y151-S62460193
Bibliographic ID of National Diet Library
000007030341
Material type
図書
Author
一ノ瀬, 幸雄, 長岡技術科学大学
Publisher
-
Publication date
1987-1988
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シン(ネツ デンシ ホウシャ)カタ プラズマ CVD ソウチ ニ ヨル リッポウショウ チッカ ホウソマク ノ ケイセイ
Author/Editor
一ノ瀬, 幸雄, 長岡技術科学大学
Author Heading
一ノ瀬, 幸雄 イチノセ, ユキオ
Publication Date
1987-1988
Publication Date (W3CDTF)
1987
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
立方晶窒化ホウ素 リツポウシヨウチツカホウソ
閃亜鉛鉱型構造 センアエンコウガタコウゾウ
ダイヤモンド ダイヤモンド
cBN CBN
p型n型半導体 PガタNガタハンドウタイ
hBN HBN
超高圧高温技術 チヨウコウアツコウオンギジユツ
プラズマ気相合成 プラズマキソウゴウセイ