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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウユウテン キンゾク カン カゴウブツ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ デンシ ザイリョウ ヘ ノ オウヨウ ニ カンスル キソテキ ケントウ
- 著者・編者
- 佐々木, 克孝, 北見工業大学
- 著者標目
- 佐々木, 克孝 ササキ, カツタカ
- 出版年月日等
- 1987-1988
- 出版年（W3CDTF）
- 1987
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- 金属間化合物膜 キンゾクカンカゴウブツマク拡散バリヤ カクサンバリヤ界面反応 カイメンハンノウ相互拡散 ソウゴカクサンVLSI薄膜技術 VLSIハクマクギジユツオージエ電子分光分析 オージエデンシブンコウブンセキキヤラクタリゼーシヨン キヤラクタリゼーシヨン