高融点金属間化合物薄膜の作成とその電子材料への応用に関する基礎的検討

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Material Type: 図書
Title: 高融点金属間化合物薄膜の作成とその電子材料への応用に関する基礎的検討
Title Transcription: コウユウテンキンゾクカンカゴウブツハクマクノサクセイトソノデンシザイリョウヘノオウヨウニカンスルキソテキケントウ
Author/Editor: 佐々木, 克孝, 北見工業大学
Author Heading: 佐々木, 克孝ササキ, カツタカ
Publication Date: 1987-1988
Publication Date (W3CDTF): 1987
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 金属間化合物膜キンゾクカンカゴウブツマク
拡散バリヤカクサンバリヤ
界面反応カイメンハンノウ
相互拡散ソウゴカクサン
VLSI薄膜技術 VLSIハクマクギジユツ
オージエ電子分光分析オージエデンシブンコウブンセキ
キヤラクタリゼーシヨンキヤラクタリゼーシヨン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62550216
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62550216
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007031450
http://id.ndl.go.jp/bib/000007031450
Bibliographic Record Category (NDL): 214