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界面バリヤ制御電子スピン共鳴法による微小領域プロセス誘起欠陥の評価

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界面バリヤ制御電子スピン共鳴法による微小領域プロセス誘起欠陥の評価

国立国会図書館請求記号
Y151-S62550220
国立国会図書館書誌ID
000007031453
資料種別
図書
著者
村上, 浩一, 筑波大学
出版者
-
出版年
1987-1988
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
カイメン バリヤ セイギョ デンシ スピン キョウメイホウ ニ ヨル ビショウ リョウイキ プロセス ユウキ ケッカン ノ ヒョウカ
著者・編者
村上, 浩一, 筑波大学
著者標目
村上, 浩一 ムラカミ, コウイチ
出版年月日等
1987-1988
出版年(W3CDTF)
1987
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
シリコン シリコン
プロセス誘起欠陥 プロセスユウキケツカン
off-center置換位置N OFF-CENTERチカンイチN
不純物 フジユンブツ
電子スピン共鳴 デンシスピンキヨウメイ
界面バリヤ制御 カイメンバリヤセイギヨ
線幅温度変化 センプクオンドヘンカ
電子準位決定法 デンシジユンイケツテイホウ