図書

界面バリヤ制御電子スピン共鳴法による微小領域プロセス誘起欠陥の評価

Icons representing 図書

界面バリヤ制御電子スピン共鳴法による微小領域プロセス誘起欠陥の評価

Call No. (NDL)
Y151-S62550220
Bibliographic ID of National Diet Library
000007031453
Material type
図書
Author
村上, 浩一, 筑波大学
Publisher
-
Publication date
1987-1988
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
カイメン バリヤ セイギョ デンシ スピン キョウメイホウ ニ ヨル ビショウ リョウイキ プロセス ユウキ ケッカン ノ ヒョウカ
Author/Editor
村上, 浩一, 筑波大学
Author Heading
村上, 浩一 ムラカミ, コウイチ
Publication Date
1987-1988
Publication Date (W3CDTF)
1987
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
シリコン シリコン
プロセス誘起欠陥 プロセスユウキケツカン
off-center置換位置N OFF-CENTERチカンイチN
不純物 フジユンブツ
電子スピン共鳴 デンシスピンキヨウメイ
界面バリヤ制御 カイメンバリヤセイギヨ
線幅温度変化 センプクオンドヘンカ
電子準位決定法 デンシジユンイケツテイホウ