六塩化ニケイ素を原料とするケイ素系フアインセラミツク膜の気相合成

• 資料種別: 図書
• タイトル: 六塩化ニケイ素を原料とするケイ素系フアインセラミツク膜の気相合成
• タイトルよみ: ロク エンカ ニケイソ オ ゲンリョウ ト スル ケイソケイ フアインセラミツクマク ノ キソウ ゴウセイ
• 著者・編者: 元島, 栖二, 岐阜大学
• 著者標目: 著者 ： 元島, 栖二, 1941- モトジマ, セイジ, 1941- ( 01004710 )典拠
• 出版年月日等: 1987-1988
• 出版年（W3CDTF）: 1987
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: CVD CVD; in-situCVD IN-SITUCVD; 六塩化ニケイ素 ロクエンカニケイソ; ガス拡散処理 ガスカクサンシヨリ; ケイ化物膜 ケイカブツマク; コイル状フアイバー コイルジヨウフアイバー; (Cr, Fe) xSiy (CR, FE) XSIY; 単結晶 タンケツシヨウ; 炭化ケイ素 タンカケイソ; 窒化ケイ素 チツカケイソ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 62550562
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S62550562
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007031663; http://id.ndl.go.jp/bib/000007031663
• 整理区分コード: 214