六塩化ニケイ素を原料とするケイ素系フアインセラミツク膜の気相合成

• Material Type: 図書
• Title: 六塩化ニケイ素を原料とするケイ素系フアインセラミツク膜の気相合成
• Title Transcription: ロク エンカ ニケイソ オ ゲンリョウ ト スル ケイソケイ フアインセラミツクマク ノ キソウ ゴウセイ
• Author/Editor: 元島, 栖二, 岐阜大学
• Author Heading: 著者 ： 元島, 栖二, 1941- モトジマ, セイジ, 1941- ( 01004710 )Authorities
• Publication Date: 1987-1988
• Publication Date (W3CDTF): 1987
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: CVD CVD; in-situCVD IN-SITUCVD; 六塩化ニケイ素 ロクエンカニケイソ; ガス拡散処理 ガスカクサンシヨリ; ケイ化物膜 ケイカブツマク; コイル状フアイバー コイルジヨウフアイバー; (Cr, Fe) xSiy (CR, FE) XSIY; 単結晶 タンケツシヨウ; 炭化ケイ素 タンカケイソ; 窒化ケイ素 チツカケイソ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62550562
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S62550562
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007031663; http://id.ndl.go.jp/bib/000007031663
• Bibliographic Record Category (NDL): 214