六塩化ニケイ素を原料とするケイ素系フアインセラミツク膜の気相合成

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Material Type: 図書
Title: 六塩化ニケイ素を原料とするケイ素系フアインセラミツク膜の気相合成
Title Transcription: ロクエンカニケイソオゲンリョウトスルケイソケイフアインセラミツクマクノキソウゴウセイ
Author/Editor: 元島, 栖二, 岐阜大学
Author Heading: 著者：元島, 栖二, 1941- モトジマ, セイジ, 1941- ( 01004710 )Authorities
Publication Date: 1987-1988
Publication Date (W3CDTF): 1987
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: CVD CVD
in-situCVD IN-SITUCVD
六塩化ニケイ素ロクエンカニケイソ
ガス拡散処理ガスカクサンシヨリ
ケイ化物膜ケイカブツマク
コイル状フアイバーコイルジヨウフアイバー
(Cr, Fe) xSiy (CR, FE) XSIY
単結晶タンケツシヨウ
炭化ケイ素タンカケイソ
窒化ケイ素チツカケイソ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62550562
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62550562
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007031663
http://id.ndl.go.jp/bib/000007031663
Bibliographic Record Category (NDL): 214