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超微小粒子の壁面への沈着

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超微小粒子の壁面への沈着

国立国会図書館請求記号
Y151-S62550692
国立国会図書館書誌ID
000007031739
資料種別
図書
著者
金岡, 千嘉男, 金沢大学
出版者
-
出版年
1987-1988
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
超微小粒子の壁面への沈着
タイトルよみ
チョウビショウリュウシ ノ ヘキメン ヘ ノ チンチャク
著者・編者
金岡, 千嘉男, 金沢大学
著者標目
金岡, 千嘉男 カナオカ, チカオ
出版年月日等
1987-1988
出版年（W3CDTF）
1987
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
クリーンルーム クリーンルーム
粒子沈着 リユウシチンチヤク
円管壁 エンカンヘキ
ウエハ ウエハ
エアロゾル エアロゾル
静電気沈着 セイデンキチンチヤク
帯電粒子 タイデンリユウシ
ブラウン拡散 ブラウンカクサン