超微小粒子の壁面への沈着

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Material Type: 図書
Title: 超微小粒子の壁面への沈着
Title Transcription: チョウビショウリュウシノヘキメンヘノチンチャク
Author/Editor: 金岡, 千嘉男, 金沢大学
Author Heading: 金岡, 千嘉男カナオカ, チカオ
Publication Date: 1987-1988
Publication Date (W3CDTF): 1987
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: クリーンルームクリーンルーム
粒子沈着リユウシチンチヤク
円管壁エンカンヘキ
ウエハウエハ
エアロゾルエアロゾル
静電気沈着セイデンキチンチヤク
帯電粒子タイデンリユウシ
ブラウン拡散ブラウンカクサン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62550692
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62550692
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007031739
http://id.ndl.go.jp/bib/000007031739
Bibliographic Record Category (NDL): 214