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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- スイチョク キロクシキ ジキ テープ シサクヨウ チョウコウソク スパツタ ソウチ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 直江, 正彦, 東京工業大学
- 著者標目
- 直江, 正彦 ナオエ, マサヒコ
- 出版年月日等
- 1987-1988
- 出版年（W3CDTF）
- 1987
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 奨励研究(B)
- 件名標目
- Co-Cr薄膜 CO-CRハクマク垂直磁気記録 スイチヨクジキキロク磁気テープ ジキテープ高速成膜法 コウソクセイマクホウ連続スパツタ成膜装置 レンゾクスパツタセイマクソウチ多層膜技術 タソウマクギジユツ対向ターゲツト式スパツタ法 タイコウターゲツトシキスパツタホウ