垂直記録式磁気テープ試作用超高速スパツタ装置の開発に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 垂直記録式磁気テープ試作用超高速スパツタ装置の開発に関する研究
Title Transcription: スイチョクキロクシキジキテープシサクヨウチョウコウソクスパツタソウチノカイハツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 直江, 正彦, 東京工業大学
Author Heading: 直江, 正彦ナオエ, マサヒコ
Publication Date: 1987-1988
Publication Date (W3CDTF): 1987
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目奨励研究(B)
Subject Heading: Co-Cr薄膜 CO-CRハクマク
垂直磁気記録スイチヨクジキキロク
磁気テープジキテープ
高速成膜法コウソクセイマクホウ
連続スパツタ成膜装置レンゾクスパツタセイマクソウチ
多層膜技術タソウマクギジユツ
対向ターゲツト式スパツタ法タイコウターゲツトシキスパツタホウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62850054
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62850054
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007032922
http://id.ndl.go.jp/bib/000007032922
Bibliographic Record Category (NDL): 214