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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- イカタセイ エツチング ニ オケル カコウ カテイ ノ カイメイ ト シアガリ セイド ノ ジゼン ヨソク
- 著者・編者
- 古川, 勇二, 東京都立大学
- 著者標目
- 古川, 勇二 フルカワ, ユウジ
- 出版年月日等
- 1988-1989
- 出版年（W3CDTF）
- 1988
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- エツチング エツチング微細加工 ビサイカコウ仕上り精度 シアガリセイドコンピユータシミユレーシヨン コンピユータシミユレーシヨン