異方性エツチングにおける加工過程の解明と仕上り精度の事前予測

• Material Type: 図書
• Title: 異方性エツチングにおける加工過程の解明と仕上り精度の事前予測
• Title Transcription: イカタセイ エツチング ニ オケル カコウ カテイ ノ カイメイ ト シアガリ セイド ノ ジゼン ヨソク
• Author/Editor: 古川, 勇二, 東京都立大学
• Author Heading: 古川, 勇二 フルカワ, ユウジ
• Publication Date: 1988-1989
• Publication Date (W3CDTF): 1988
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: エツチング エツチング; 微細加工 ビサイカコウ; 仕上り精度 シアガリセイド; コンピユータシミユレーシヨン コンピユータシミユレーシヨン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 63460084
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S63460084
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007033836; http://id.ndl.go.jp/bib/000007033836
• Bibliographic Record Category (NDL): 214