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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ネツ CVD タケッショウ Si マク セイチョウジ ニ オケル プラズマ ブンカイ ノ チョウジョウ コウカ オヨビ デンドウ キコウ ノ カイメイ
- 著者・編者
- 長谷川, 誠一, 金沢大学
- 著者標目
- 長谷川, 誠一 ハセガワ, セイイチ
- 出版年月日等
- 1988-1989
- 出版年（W3CDTF）
- 1988
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)