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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ネツ CVD タケッショウ Si マク セイチョウジ ニ オケル プラズマ ブンカイ ノ チョウジョウ コウカ オヨビ デンドウ キコウ ノ カイメイ
- Author/Editor
- 長谷川, 誠一, 金沢大学
- Author Heading
- 長谷川, 誠一 ハセガワ, セイイチ
- Publication Date
- 1988-1989
- Publication Date (W3CDTF)
- 1988
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(C)