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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- テイシュウハ ハンノウセイ プラズマ ノ ハイブリツド サイテキ セイギョ
- 著者・編者
- 真壁, 利明, 慶応義塾大学
- 著者標目
- 著者 ： 真壁, 利明, 1947- マカベ, トシアキ, 1947- ( 00162951 )典拠
- 出版年月日等
- 1988-1989
- 出版年（W3CDTF）
- 1988
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- 低周波プラズマ テイシユウハプラズマ反応性プラズマ ハンノウセイプラズマCH4 CH4H2プラズマ H2プラズマ時間、空間分解発光分光分析 ジカン、クウカンブンカイハツコウブンコウブンセキRFプラズマのモデリング RFプラズマノモデリングデポジシヨン デポジシヨン炭素薄膜 タンソハクマク低周波放電構造 テイシユウハホウデンコウゾウ