低周波反応性プラズマのハイブリツド最適制御

• Material Type: 図書
• Title: 低周波反応性プラズマのハイブリツド最適制御
• Title Transcription: テイシュウハ ハンノウセイ プラズマ ノ ハイブリツド サイテキ セイギョ
• Author/Editor: 真壁, 利明, 慶応義塾大学
• Author Heading: 著者 ： 真壁, 利明, 1947- マカベ, トシアキ, 1947- ( 00162951 )Authorities
• Publication Date: 1988-1989
• Publication Date (W3CDTF): 1988
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 低周波プラズマ テイシユウハプラズマ; 反応性プラズマ ハンノウセイプラズマ; CH4 CH4; H2プラズマ H2プラズマ; 時間、空間分解発光分光分析 ジカン、クウカンブンカイハツコウブンコウブンセキ; RFプラズマのモデリング RFプラズマノモデリング; デポジシヨン デポジシヨン; 炭素薄膜 タンソハクマク; 低周波放電構造 テイシユウハホウデンコウゾウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 63550220
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S63550220
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007035046; http://id.ndl.go.jp/bib/000007035046
• Bibliographic Record Category (NDL): 214