磁界制御水素プラズマスパッタリング法による電子材料作製に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 磁界制御水素プラズマスパッタリング法による電子材料作製に関する研究
• タイトルよみ: ジカイ セイギョ スイソ プラズマスパッタリングホウ ニ ヨル デンシ ザイリョウ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 宮里達郎, 九州工業大学
• 著者標目: 宮里, 達郎 ミヤサト, タツロウ
• 出版年月日等: 1988-1990
• 出版年（W3CDTF）: 1988; 1990
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: 水素プラズマスパツタリング法 スイソプラズマスパツタリングホウ; 超微粒子シリコン結晶 チヨウビリユウシシリコンケツシヨウ; 多結晶シリコン膜 タケツシヨウシリコンマク; 化合物半導体膜 カゴウブツハンドウタイマク; 低温結晶成長 テイオンケツシヨウセイチヨウ; 磁界制御 ジカイセイギヨ; 歪み格子 ヒズミコウシ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 63550238
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S63550238
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007035056; http://id.ndl.go.jp/bib/000007035056
• 整理区分コード: 214