磁界制御水素プラズマスパッタリング法による電子材料作製に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 磁界制御水素プラズマスパッタリング法による電子材料作製に関する研究
• Title Transcription: ジカイ セイギョ スイソ プラズマスパッタリングホウ ニ ヨル デンシ ザイリョウ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 宮里達郎, 九州工業大学
• Author Heading: 宮里, 達郎 ミヤサト, タツロウ
• Publication Date: 1988-1990
• Publication Date (W3CDTF): 1988; 1990
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 水素プラズマスパツタリング法 スイソプラズマスパツタリングホウ; 超微粒子シリコン結晶 チヨウビリユウシシリコンケツシヨウ; 多結晶シリコン膜 タケツシヨウシリコンマク; 化合物半導体膜 カゴウブツハンドウタイマク; 低温結晶成長 テイオンケツシヨウセイチヨウ; 磁界制御 ジカイセイギヨ; 歪み格子 ヒズミコウシ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 63550238
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S63550238
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007035056; http://id.ndl.go.jp/bib/000007035056
• Bibliographic Record Category (NDL): 214