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高温気相種分析用赤外分光器の開発とハロゲン化物への応物

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高温気相種分析用赤外分光器の開発とハロゲン化物への応物

国立国会図書館請求記号
Y151-S63550496
国立国会図書館書誌ID
000007035204
資料種別
図書
著者
不破, 章雄, 早稲田大学
出版者
-
出版年
1988-1990
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウオン キソウシュ ブンセキヨウ セキガイ ブンコウキ ノ カイハツ ト ハロゲンカブツ ヘ ノ オウブツ
著者・編者
不破, 章雄, 早稲田大学
著者標目
不破, 章雄 フワ, アキオ
出版年月日等
1988-1990
出版年(W3CDTF)
1988
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
赤外分光分析 セキガイブンコウブンセキ
反応速度解析 ハンノウソクドカイセキ
シリコン シリコン
析出 セキシユツ
反応機構 ハンノウキコウ
トリクロロシラン トリクロロシラン