高温気相種分析用赤外分光器の開発とハロゲン化物への応物

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Material Type: 図書
Title: 高温気相種分析用赤外分光器の開発とハロゲン化物への応物
Title Transcription: コウオンキソウシュブンセキヨウセキガイブンコウキノカイハツトハロゲンカブツヘノオウブツ
Author/Editor: 不破, 章雄, 早稲田大学
Author Heading: 不破, 章雄フワ, アキオ
Publication Date: 1988-1990
Publication Date (W3CDTF): 1988
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 赤外分光分析セキガイブンコウブンセキ
反応速度解析ハンノウソクドカイセキ
シリコンシリコン
析出セキシユツ
反応機構ハンノウキコウ
トリクロロシラントリクロロシラン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 63550496
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S63550496
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007035204
http://id.ndl.go.jp/bib/000007035204
Bibliographic Record Category (NDL): 214