赤外光を用いた半導体の内部応力測定システムの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 赤外光を用いた半導体の内部応力測定システムの開発
• タイトルよみ: セキガイコウ オ モチイタ ハンドウタイ ノ ナイブ オウリョク ソクテイ システム ノ カイハツ
• 著者・編者: 伊達, 和博, 宮城工業高等専門学校
• 著者標目: 伊達, 和博 ダテ, カズヒロ
• 出版年月日等: 1988-1989
• 出版年（W3CDTF）: 1988
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 奨励研究(B)
• 件名標目: 赤外光 セキガイヒカリ; 半導体 ハンドウタイ; 光弾性法 コウダンセイホウ; 応力測定 オウリヨクソクテイ; 欠陥検出 ケツカンケンシユツ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 63850026
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S63850026
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007036333; http://id.ndl.go.jp/bib/000007036333
• 整理区分コード: 214