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赤外光を用いた半導体の内部応力測定システムの開発

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赤外光を用いた半導体の内部応力測定システムの開発

Call No. (NDL)
Y151-S63850026
Bibliographic ID of National Diet Library
000007036333
Material type
図書
Author
伊達, 和博, 宮城工業高等専門学校
Publisher
-
Publication date
1988-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
セキガイコウ オ モチイタ ハンドウタイ ノ ナイブ オウリョク ソクテイ システム ノ カイハツ
Author/Editor
伊達, 和博, 宮城工業高等専門学校
Author Heading
伊達, 和博 ダテ, カズヒロ
Publication Date
1988-1989
Publication Date (W3CDTF)
1988
Extent
Additional Title
研究種目 奨励研究(B)
Subject Heading
赤外光 セキガイヒカリ
半導体 ハンドウタイ
光弾性法 コウダンセイホウ
応力測定 オウリヨクソクテイ
欠陥検出 ケツカンケンシユツ