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制御形高性能空気軸受の試作

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制御形高性能空気軸受の試作

国立国会図書館請求記号
Y151-S63850030
国立国会図書館書誌ID
000007036337
資料種別
図書
著者
下河辺, 明, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1988-1989
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
セイギョケイ コウセイノウ クウキ ジクウケ ノ シサク
著者・編者
下河辺, 明, 東京工業大学
著者標目
下河辺, 明 シモコウベ, アキラ
出版年月日等
1988-1989
出版年(W3CDTF)
1988
数量
その他のタイトル
研究種目 奨励研究(B)
件名標目
空気軸受 クウキジクウケ
能動化 ノウドウカ
能動制振 ノウドウセイシン
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
圧電素子 アツデンソシ
超精密機構 チヨウセイミツキコウ
メカトロニクス メカトロニクス