制御形高性能空気軸受の試作

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Material Type: 図書
Title: 制御形高性能空気軸受の試作
Title Transcription: セイギョケイコウセイノウクウキジクウケノシサク
Author/Editor: 下河辺, 明, 東京工業大学
Author Heading: 下河辺, 明シモコウベ, アキラ
Publication Date: 1988-1989
Publication Date (W3CDTF): 1988
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目奨励研究(B)
Subject Heading: 空気軸受クウキジクウケ
能動化ノウドウカ
能動制振ノウドウセイシン
超精密位置決めチヨウセイミツイチギメ
圧電素子アツデンソシ
超精密機構チヨウセイミツキコウ
メカトロニクスメカトロニクス
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 63850030
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S63850030
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007036337
http://id.ndl.go.jp/bib/000007036337
Bibliographic Record Category (NDL): 214