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高分解能ワイドレンジ三次元微細形状測定装置の開発

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高分解能ワイドレンジ三次元微細形状測定装置の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-S63850035
国立国会図書館書誌ID
000007036342
資料種別
図書
著者
塚田, 忠夫, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1988-1990
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウブンカイノウ ワイドレンジ サンジゲン ビサイ ケイジョウ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ
著者・編者
塚田, 忠夫, 東京工業大学
著者標目
著者 : 塚田, 忠夫, 1938- ツカダ, タダオ, 1938- ( 00212768 )典拠
出版年月日等
1988-1990
出版年(W3CDTF)
1988
数量
その他のタイトル
研究種目 奨励研究(B)
件名標目
精密計測 セイミツケイソク
三次元測定 3ジゲンソクテイ
ワイドレンジ ワイドレンジ
形状評価 ケイジヨウヒヨウカ
LSIパターン LSIパターン