高分解能ワイドレンジ三次元微細形状測定装置の開発

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Material Type: 図書
Title: 高分解能ワイドレンジ三次元微細形状測定装置の開発
Title Transcription: コウブンカイノウワイドレンジサンジゲンビサイケイジョウソクテイソウチノカイハツ
Author/Editor: 塚田, 忠夫, 東京工業大学
Author Heading: 著者：塚田, 忠夫, 1938- ツカダ, タダオ, 1938- ( 00212768 )Authorities
Publication Date: 1988-1990
Publication Date (W3CDTF): 1988
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目奨励研究(B)
Subject Heading: 精密計測セイミツケイソク
三次元測定 3ジゲンソクテイ
ワイドレンジワイドレンジ
形状評価ケイジヨウヒヨウカ
LSIパターン LSIパターン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 63850035
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S63850035
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007036342
http://id.ndl.go.jp/bib/000007036342
Bibliographic Record Category (NDL): 214