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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- トンネル デンリュウ キョリ センサ オ シュウセキカ シタ シリコンマイクロストラクチヤ ニ ヨル ビショウ クドウ ソウチ
- 著者・編者
- 藤田, 博之, 東京大学
- 著者標目
- 著者 ： 藤田, 博之, 1952- フジタ, ヒロユキ, 1952- ( 00221824 )典拠
- 出版年月日等
- 1988-1990
- 出版年（W3CDTF）
- 1988
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 奨励研究(B)
- 件名標目
- トンネル電流 トンネルデンリユウマイクロマシーニング マイクロマシーニング静電アクチユエータ セイデンアクチユエータ位置決め イチギメ変位測定 ヘンイソクテイ