トンネル電流距離センサを集積化したシリコンマイクロストラクチヤによる微小駆動装置

• Material Type: 図書
• Title: トンネル電流距離センサを集積化したシリコンマイクロストラクチヤによる微小駆動装置
• Title Transcription: トンネル デンリュウ キョリ センサ オ シュウセキカ シタ シリコンマイクロストラクチヤ ニ ヨル ビショウ クドウ ソウチ
• Author/Editor: 藤田, 博之, 東京大学
• Author Heading: 著者 ： 藤田, 博之, 1952- フジタ, ヒロユキ, 1952- ( 00221824 )Authorities
• Publication Date: 1988-1990
• Publication Date (W3CDTF): 1988
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 奨励研究(B)
• Subject Heading: トンネル電流 トンネルデンリユウ; マイクロマシーニング マイクロマシーニング; 静電アクチユエータ セイデンアクチユエータ; 位置決め イチギメ; 変位測定 ヘンイソクテイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 63850053
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S63850053
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007036360; http://id.ndl.go.jp/bib/000007036360
• Bibliographic Record Category (NDL): 214