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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ニ シュウハスウレイキテイウンドウ エネルギイオン ショウシャ プロセスセイマク ソウチ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 大見, 忠弘, 東北大学
- 著者標目
- 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
- 出版年月日等
- 1988-1989
- 出版年(W3CDTF)
- 1988
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 奨励研究(B)
- 件名標目
- スパツタリング スパツタリング低温プロセス テイオンプロセスシリコンエピタキシヤル成長 シリコンエピタキシヤルセイチヨウ低エネルギイオン照射 テイエネルギイオンシヨウシヤCu配線 CUハイセンAl配線 ALハイセン超高密度LSI チヨウコウミツドLSI