超微細構造GaInAs/InPデバイス作製技術に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超微細構造GaInAs/InPデバイス作製技術に関する研究
• タイトルよみ: チョウビサイ コウゾウ GaInAs/InP デバイス サクセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 古屋, 一仁, 東京工業大学
• 著者標目: 古屋, 一仁 フルヤ, カズヒト
• 出版年月日等: 1988-1989
• 出版年（W3CDTF）: 1988
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 奨励研究(B)
• 件名標目: 極微細構造 キヨクビサイコウゾウ; 有機金属気相成長法 ユウキキンゾクキソウセイチヨウホウ; 電子ビーム露光法 デンシビームロコウホウ; 化学エツチング カガクエツチング; 電子波反射 デンシハハンシヤ; ドライエツチング ドライエツチング; 量子細線レーザ リヨウシサイセンレーザ; OMVPE埋め込み成長 OMVPEウメコミセイチヨウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 63850077
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S63850077
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007036378; http://id.ndl.go.jp/bib/000007036378
• 整理区分コード: 214