図書

超微細構造GaInAs/InPデバイス作製技術に関する研究

Icons representing 図書

超微細構造GaInAs/InPデバイス作製技術に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-S63850077
Bibliographic ID of National Diet Library
000007036378
Material type
図書
Author
古屋, 一仁, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1988-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウビサイ コウゾウ GaInAs/InP デバイス サクセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
古屋, 一仁, 東京工業大学
Author Heading
古屋, 一仁 フルヤ, カズヒト
Publication Date
1988-1989
Publication Date (W3CDTF)
1988
Extent
Additional Title
研究種目 奨励研究(B)
Subject Heading
極微細構造 キヨクビサイコウゾウ
有機金属気相成長法 ユウキキンゾクキソウセイチヨウホウ
電子ビーム露光法 デンシビームロコウホウ
化学エツチング カガクエツチング
電子波反射 デンシハハンシヤ
ドライエツチング ドライエツチング
量子細線レーザ リヨウシサイセンレーザ
OMVPE埋め込み成長 OMVPEウメコミセイチヨウ