図書

高速反応性スパツタリングによる構造安定性鉄窒化膜の作製

図書を表すアイコン

高速反応性スパツタリングによる構造安定性鉄窒化膜の作製

国立国会図書館請求記号
Y151-S63850152
国立国会図書館書誌ID
000007036442
資料種別
図書
著者
入戸野, 修, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1988-1989
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
図書
タイトルよみ
コウソク ハンノウセイ スパツタリング ニ ヨル コウゾウ アンテイセイテツ チッカマク ノ サクセイ
著者・編者
入戸野, 修, 東京工業大学
著者標目
入戸野, 修 ニットノ, オサム
出版年月日等
1988-1989
出版年(W3CDTF)
1988
数量
その他のタイトル
研究種目 奨励研究(B)
件名標目
スパツタリング膜 スパツタリングマク
反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリング
鉄窒化膜 テツチツカマク
構造安定相 コウゾウアンテイソウ
高堆積速度 コウタイセキソクド
磁性薄膜 ジセイハクマク
磁気記録媒体 ジキキロクバイタイ
微細構造 ビサイコウゾウ