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高速反応性スパツタリングによる構造安定性鉄窒化膜の作製

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高速反応性スパツタリングによる構造安定性鉄窒化膜の作製

Call No. (NDL)
Y151-S63850152
Bibliographic ID of National Diet Library
000007036442
Material type
図書
Author
入戸野, 修, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1988-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウソク ハンノウセイ スパツタリング ニ ヨル コウゾウ アンテイセイテツ チッカマク ノ サクセイ
Author/Editor
入戸野, 修, 東京工業大学
Author Heading
入戸野, 修 ニットノ, オサム
Publication Date
1988-1989
Publication Date (W3CDTF)
1988
Extent
Additional Title
研究種目 奨励研究(B)
Subject Heading
スパツタリング膜 スパツタリングマク
反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリング
鉄窒化膜 テツチツカマク
構造安定相 コウゾウアンテイソウ
高堆積速度 コウタイセキソクド
磁性薄膜 ジセイハクマク
磁気記録媒体 ジキキロクバイタイ
微細構造 ビサイコウゾウ