X線を用いた金属多層膜のインプロセス制御法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: X線を用いた金属多層膜のインプロセス制御法の開発
• タイトルよみ: Xセン オ モチイタ キンゾク タソウマク ノ インプロセス セイギョホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 野本, 俊夫, 宮城工業高等専門学校
• 著者標目: 野本, 俊夫 ノモト, トシオ
• 出版年月日等: 1989-1990
• 出版年（W3CDTF）: 1989
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 奨励研究(B)
• 件名標目: 多層膜 タソウマク; 固相反応 コソウハンノウ; 相互拡散 ソウゴカクサン; 希土類金属 キドルイキンゾク; インプロセス制御 インプロセスセイギヨ; アモルフアス アモルフアス; X線構造解析 Xセンコウゾウカイセキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 63850155
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S63850155
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007036445; http://id.ndl.go.jp/bib/000007036445
• 整理区分コード: 214