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X線を用いた金属多層膜のインプロセス制御法の開発

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X線を用いた金属多層膜のインプロセス制御法の開発

Call No. (NDL)
Y151-S63850155
Bibliographic ID of National Diet Library
000007036445
Material type
図書
Author
野本, 俊夫, 宮城工業高等専門学校
Publisher
-
Publication date
1989-1990
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
Xセン オ モチイタ キンゾク タソウマク ノ インプロセス セイギョホウ ノ カイハツ
Author/Editor
野本, 俊夫, 宮城工業高等専門学校
Author Heading
野本, 俊夫 ノモト, トシオ
Publication Date
1989-1990
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
Additional Title
研究種目 奨励研究(B)
Subject Heading
多層膜 タソウマク
固相反応 コソウハンノウ
相互拡散 ソウゴカクサン
希土類金属 キドルイキンゾク
インプロセス制御 インプロセスセイギヨ
アモルフアス アモルフアス
X線構造解析 Xセンコウゾウカイセキ