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各種雰囲気下におけるセラミツクス薄膜弾性率測定器の開発

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各種雰囲気下におけるセラミツクス薄膜弾性率測定器の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-S63850166
国立国会図書館書誌ID
000007036454
資料種別
図書
著者
花田, 禎一, 京都大学
出版者
-
出版年
1988-1989
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
カクシュ フンイキ カ ニ オケル セラミツクス ハクマク ダンセイリツ ソクテイキ ノ カイハツ
著者・編者
花田, 禎一, 京都大学
著者標目
花田, 禎一 マナダ, テイイチ
出版年月日等
1988-1989
出版年(W3CDTF)
1988
数量
その他のタイトル
研究種目 奨励研究(B)
件名標目
セラミツクス薄膜 セラミツクスハクマク
弾性的性質 ダンセイテキセイシツ
振動リード法 シンドウリードホウ
ヤング率温度係数 ヤングリツオンドケイスウ
高周波スパツタリング コウシユウハスパツタリング
弾性異常 ダンセイイジヨウ