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各種雰囲気下におけるセラミツクス薄膜弾性率測定器の開発

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各種雰囲気下におけるセラミツクス薄膜弾性率測定器の開発

Call No. (NDL)
Y151-S63850166
Bibliographic ID of National Diet Library
000007036454
Material type
図書
Author
花田, 禎一, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1988-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
カクシュ フンイキ カ ニ オケル セラミツクス ハクマク ダンセイリツ ソクテイキ ノ カイハツ
Author/Editor
花田, 禎一, 京都大学
Author Heading
花田, 禎一 マナダ, テイイチ
Publication Date
1988-1989
Publication Date (W3CDTF)
1988
Extent
Additional Title
研究種目 奨励研究(B)
Subject Heading
セラミツクス薄膜 セラミツクスハクマク
弾性的性質 ダンセイテキセイシツ
振動リード法 シンドウリードホウ
ヤング率温度係数 ヤングリツオンドケイスウ
高周波スパツタリング コウシユウハスパツタリング
弾性異常 ダンセイイジヨウ